| 核融合科学研究所一般共同研究として、標記研究会を 下記の要領で開催しました。 18日は、プラズマ・核融合学会専門委員会 「プラズマ原子分子過程の基礎研究とプラズマ研究の融合と発展」との共催による特別セッションとして 行いました。 大学をはじめ企業からも 多数の参加があり、 盛会のうちに終わりました。 |
| 代表者 | 日本原子力研究開発機構 佐々木明 | |
| 世話人 | 核融合科学研究所 村上泉、加藤太治 |
| 日時 | 2008年12月17日（水） | 10：00−17：40 |
| 2008年12月18日（木） | 10：00−15：30 | |
| 場所 | 核融合科学研究所 | 管理棟4階大会議室(17日） |
| 研究棟(I)4階402会議室（18日） |
| 12月17日（水）10:00−17:40 | |
| 10:00 | はじめに 佐々木明（日本原子力研究開発機構） |
| 挨拶 佐藤元泰（核融合研連携研究推進センター長） | |
| ・プロセスプラズマにおける原子分子データ（データニーズ） | |
| 10:15 | 半導体装置メーカにおける原子・分子データの必要性 （前半） （後半） 小方誠司（アルバック） |
| 10:45 | C5F8/Ar/O2プラズマ反応データベースの構築と半導体製造装置での検証 康松潤（東京エレクトロン） |
| 11:15 | 半導体向けプラズマプロセスの制御と基礎データベースに対するニーズ 辰巳哲也（ソニー） |
| 11:45 | 昼食 |
| 12:45 | 放電プラズマシミュレーションからの原子分子データのニーズ 小田昭紀（名工大） |
| 13:15 | ソフトウェアベンダからのニーズ 田中正明（ペガサスソフトウエア） |
| ・プロセスプラズマにおける原子分子データ（データシーズ） | |
| 13:30 | 電子と酸素分子の衝突：断面積データ 市川行和（宇宙研名誉教授） |
| 14:00 | 電子輸送特性と電子衝突断面積 中村義春（慶応大） |
| 14:30 | 気体中のイオン移動度 田沼肇（首都大） |
| 14:50 | 低エネルギー電子衝撃による多原子分子の微分断面積測定 -弾性散乱・振動励起・電子励起素過程- 星野正光（上智大） |
| 15:10 | 休憩 |
| ・環境技術・光源技術における原子分子過程と原子分子データ | |
| 15:30 | パルス電子ビーム生成大気圧プラズマによるPFC分解処理実験 奥田功（産総研） |
| 15:50 | 環境汚染化学物質の放電分解における原子・分子データ 佐藤孝紀（室蘭工大） |
| 16:10 | EUV光源開発における原子過程と放射流体シミュレーションの現状 西原功修（大阪大学名誉教授） |
| 16:40 | レーザ生成SnプラズマEUV光源の展望 柳田達哉（EUVA） |
| ・原子分子データ協会設立に向けての討論 | |
| 17:00 | 核融合研における原子分子データ活動や国内外の活動について 村上泉（核融合研） |
| 17:10 | 討論 |
| 17:40 | 懇親会 |
| 12月18日 10:00 - 15:30 | |
| プラズマ・核融合学会専門委員会「プラズマ原子分子過程の基礎研究とプラズマ研究の融合と発展」との共催による特別セッション | |
| 10:00 | 挨拶 村上泉 |
| ・原子力応用における原子分子データ | |
| 10:10 | 生体分子の放射線照射における原子分子過程 森林健悟（日本原子力研究開発機構） |
| 10:40 | 同位体分離に係る原子分子過程 土田一輝（放医研） |
| ・プラズマ壁相互作用における原子分子データ | |
| 11:10 | 核融合境界層プラズマモデリングと原子分子データ 畑山明聖 (慶応大学理工学部） |
| 11:40 | 昼食 |
| 12:40 | 主プラズマでのタングステンの蓄積、およびダイバータプラズマでの炭素の放射過程 仲野友英 （日本原子力研究開発機構 核融合研究開発部門） |
| 13:10 | 電子ビームイオントラップによる鉄・タングステン多価イオンの分光計測 中村信行 （電気通信大学） |
| 13:40 | Quantum-Mechanical Calculations of Charge Transfer Cross Sections in Collisions of O3+ with He Yong Wu（中国IAPCM） |
| 14:10 | Code Centres Network meeting at IAEA の報告 小池文博（北里大） |
| 14:25 | ・議論とまとめ |