原子分子データ応用フォーラムセミナー
「原子分子データのニーズとシーズのマッチングを目指して」

    核融合科学研究所一般共同研究として、標記研究会を 下記の要領で開催しました。 18日は、プラズマ・核融合学会専門委員会 「プラズマ原子分子過程の基礎研究とプラズマ研究の融合と発展」との共催による特別セッションとして 行いました。 大学をはじめ企業からも 多数の参加があり、 盛会のうちに終わりました。
   代表者 日本原子力研究開発機構 佐々木明
世話人 核融合科学研究所 村上泉、加藤太治


日時  2008年12月17日(水)10:00−17:40
 2008年12月18日(木)10:00−15:30
場所 核融合科学研究所 管理棟4階大会議室(17日)
研究棟(I)4階402会議室(18日)


プログラム

12月17日(水)10:00−17:40
10:00 はじめに 佐々木明(日本原子力研究開発機構)
挨拶   佐藤元泰(核融合研連携研究推進センター長)
 
・プロセスプラズマにおける原子分子データ(データニーズ)
10:15 半導体装置メーカにおける原子・分子データの必要性  (前半) (後半)  小方誠司(アルバック)
10:45C5F8/Ar/O2プラズマ反応データベースの構築と半導体製造装置での検証 康松潤(東京エレクトロン)
11:15 半導体向けプラズマプロセスの制御と基礎データベースに対するニーズ 辰巳哲也(ソニー)
11:45 昼食
12:45放電プラズマシミュレーションからの原子分子データのニーズ 小田昭紀(名工大)
13:15ソフトウェアベンダからのニーズ 田中正明(ペガサスソフトウエア)
 
・プロセスプラズマにおける原子分子データ(データシーズ)
13:30 電子と酸素分子の衝突:断面積データ 市川行和(宇宙研名誉教授)
14:00 電子輸送特性と電子衝突断面積 中村義春(慶応大)
14:30 気体中のイオン移動度 田沼肇(首都大)
14:50 低エネルギー電子衝撃による多原子分子の微分断面積測定 -弾性散乱・振動励起・電子励起素過程- 星野正光(上智大)
15:10休憩
 
・環境技術・光源技術における原子分子過程と原子分子データ
15:30 パルス電子ビーム生成大気圧プラズマによるPFC分解処理実験 奥田功(産総研)
15:50環境汚染化学物質の放電分解における原子・分子データ 佐藤孝紀(室蘭工大)
16:10EUV光源開発における原子過程と放射流体シミュレーションの現状 西原功修(大阪大学名誉教授)
16:40レーザ生成SnプラズマEUV光源の展望 柳田達哉(EUVA)
 
・原子分子データ協会設立に向けての討論
17:00核融合研における原子分子データ活動や国内外の活動について 村上泉(核融合研)
17:10討論
17:40懇親会
 
12月18日 10:00 - 15:30
プラズマ・核融合学会専門委員会「プラズマ原子分子過程の基礎研究とプラズマ研究の融合と発展」との共催による特別セッション
10:00挨拶 村上泉
 
・原子力応用における原子分子データ
10:10生体分子の放射線照射における原子分子過程 森林健悟(日本原子力研究開発機構)
10:40同位体分離に係る原子分子過程 土田一輝(放医研)
 
・プラズマ壁相互作用における原子分子データ
11:10 核融合境界層プラズマモデリングと原子分子データ 畑山明聖 (慶応大学理工学部)
11:40 昼食
12:40 主プラズマでのタングステンの蓄積、およびダイバータプラズマでの炭素の放射過程 仲野友英 (日本原子力研究開発機構 核融合研究開発部門)
13:10 電子ビームイオントラップによる鉄・タングステン多価イオンの分光計測 中村信行 (電気通信大学)
13:40 Quantum-Mechanical Calculations of Charge Transfer Cross Sections in Collisions of O3+ with He Yong Wu(中国IAPCM)
14:10Code Centres Network meeting at IAEA の報告 小池文博(北里大)
 
14:25・議論とまとめ


議事録(案)

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お問い合わせは 村上 mizumi at nifs.ac.jp まで
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