12月20日 |
13:40-13:50 |
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開会挨拶・アナウンス |
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座長:吉川 正志(筑波大) |
13:50-14:10 |
赤塚 洋(東工大) |
マイクロ波放電H2・D2混合プラズマのFulcherバンドの発光分光特性 |
要旨 |
資料 |
14:10-14:30 |
澤田 圭司(信州大) |
水素分子の電子・振動・回転状態を区別した衝突輻射モデル・中性粒子輸送コードの構築 |
要旨 |
資料 |
休憩・宿泊手続き |
座長:西村 博明(阪大レーザー研) |
14:50-15:10 |
佐々木 明(量研機構) |
モンテカルロ法による衝突輻射モデルの高速計算手法 |
要旨 |
資料 |
15:10-15:30 |
奥井 貴之(東工大) |
多重電離優位なイオンビーム生成プラズマからのKα線スペクトル |
要旨 |
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15:30-15:50 |
河村 徹(東工大) |
イオンビーム生成低温固体密度プラズマにおけるKαスペクトルのオパシティ |
要旨 |
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15:50-16:10 |
難波 愼一(広島大) |
ガス雰囲気下でのレーザープラズマ軟X線の高出力化 |
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資料 |
休憩 |
座長:難波 愼一(広島大) |
16:20-17:20 |
西村 博明(阪大レーザー研) |
[特別講演]レーザープラズマ放射とその応用(仮) |
要旨 |
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17:30-19:00 懇親会(所内食堂) |
12月21日 |
座長:河内 哲哉(量研) |
9:20-9:40 |
荒巻 光利(日本大) |
光渦ドップラー吸収分光における横方向ドップラーシフトと吸収率の空間分布 |
要旨 |
資料 |
9:40-10:00 |
上野 佳祐(京都大) |
レーザー吸収分光法によるマイクロホローカソードHeプラズマ中準安定原子密度および電場強度の空間分解計測 |
要旨 |
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10:00-10:20 |
西山 修輔(北海道大) |
レーザー吸収分光法による水素原子n=2状態の占有密度分布の解析 |
要旨 |
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休憩 |
座長:門 信一郎(京都大) |
10:40-11:00 |
鈴木 健介(名古屋大) |
再結合プラズマにおけるHe原子線強度比法 |
要旨 |
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11:00-11:20 |
横土 敬幸(筑波大) |
GAMMA 10/PDXにおける不純物挙動の端損失粒子束変化による発光量への影響評価 |
要旨 |
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11:20-11:40 |
三上 智弘(筑波大) |
GAMMA10/PDXにおけるHe I線強度比法を用いたダイバータ模擬プラズマ計測 |
要旨 |
資料 |
ランチョンディスカッション・昼食・資料 |
座長:荒巻 光利(日本大) |
13:00-13:20 |
四竈 泰一(京都大) |
カスプ磁場配位ECRプラズマにおけるヘリウム原子発光線の偏光変調分光 |
要旨 |
資料 |
13:20-13:40 |
堀田 大貴(東京農工大) |
衝突輻射モデルを用いた高密度ヘリコン源のアルゴンプラズマ分光計測 |
要旨 |
資料 |
13:40-14:00 |
中森 貴也(名古屋大) |
NAGDIS-PGにおけるパルスHeプラズマの高速分光計測 |
要旨 |
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休憩・宿泊手続き |
座長:田沼 肇(首都大) |
14:20-14:40 |
中村 信行(電通大) |
電子ビームイオントラップによるランタノイドイオンのEUVスペクトル測定 |
要旨 |
資料 |
14:40-15:00 |
村田 隼一(電通大) |
4f開殻重元素イオンの可視域発光スペクトルの観測 |
要旨 |
資料 |
15:00-15:20 |
榎阪 武彦(京都大) |
LHD実験データを利用したタングステン多価イオンの発光スペクトル形状推定 |
要旨 |
資料 |
15:20-15:40 |
仲野 友英(量研) |
44価および45価タングステンイオンの電離・再結合断面積の実験的な評価 |
要旨 |
資料 |
休憩 |
座長:澤田 圭司(信州大) |
16:00-16:20 |
永岡 賢一(核融合研) |
LHD重水素実験におけるイオン内部輸送障壁形成と同位体効果 |
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16:20-16:40 |
後藤 基志(核融合研) |
LHDにおける偏光分光計測 |
要旨 |
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16:40-17:00 |
蓮尾 昌裕(京都大) |
分子動力学にもとづく水素プラズマ対向壁リサイクリングモデルの構築による中性粒子輸送コードの精密化とLHD発光線解析 |
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資料 |
12月22日 |
座長:奥野 広樹(理研) |
9:20-9:40 |
松岡 雷士(広島大) |
アークジェットプラズマの空間分解レーザー吸収分光 |
要旨 |
資料 |
9:40-10:00 |
松岡 祐也(東工大) |
水中アークプラズマの諸特性評価 |
要旨 |
資料 |
休憩 |
座長:加藤 太治(核融合研) |
10:30-10:50 |
Purohit Ghanshyam(Sir Padampat Singhania Univ.) |
Electron impact ionization cross sections of beryllium and tungsten atoms |
要旨 |
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10:50-11:10 |
田沼 肇(首都大) |
準安定励起イオンの衝突過程 |
要旨 |
資料 |
11:10-11:30 |
小杉 聡(上智大) |
光電離過程の電子相関に関する研究 |
要旨 |
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昼食 |
特別セッション 半導体製造、プラズマプロセスと原子分子過程、分光研究とのかかわり(仮題) |
座長:池田 圭(アテナシス) |
13:00-13:10 |
赤塚 洋(東工大) |
イントロダクション |
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13:10-13:40 |
辰巳 哲也(ソニーセミコンダクタソリューションズ) |
[招待講演]半導体微細加工におけるプラズマ応用について |
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資料 |
13:40-14:10 |
栗原 優(日立製作所) |
[招待講演]半導体製造におけるプラズマエッチングプロセスの最新動向 |
要旨 |
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14:10-14:40 |
林 久貴(東芝メモリ) |
[招待講演] 3次元メモリのためのプラズマエッチング技術の現状と今後の展望(仮) |
要旨 |
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休憩 |
座長:村上 泉(核融合研) |
15:00-15:30 |
星野 正光(上智大) |
[招待講演]低エネルギー電子とフッ素化合物の衝突における励起素過程と衝突断面積データセット |
要旨 |
資料 |
15:30-16:00 |
佐藤 孝紀(室蘭工大) |
[招待講演]スオーム法による電子衝突断面積セットの高精度推定 |
要旨 |
資料 |
16:00-16:15 |
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まとめ・閉会挨拶 |
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